Eigenschaften und Modellierung kapazitiver mikromechanischer Ultraschallwandler für die medizinische Bildgebung

Problemstellung: Kapazitive mikromechanische Ultraschallwandler stellen eine neue Möglichkeit zur Erzeugung von Ultraschall in medizinischen bildgebenden Systemen dar. Daher besteht Bedarf an Verfahren zur Charakterisierung und Modellierung dieser Wandler und ihrer optimalen Ansteuerung. Hierbei stellt die Nichtlinearität bei großen Sendeleistungen ein Problem dar. Methode: Einleitend stellen wir die gängigen Modelle für kapazitive Wandler zusammen mit den besonderen Eigenschaften dieser neuen Wandlertechnologie dar. Die kapazitiven Ultraschallwandler lassen sich hierbei durch ein vereinfachtes nichtlineares Dif…