MODELLIERUNG DES LINEAREN UND NICHTLINEAREN VERHALTENS KAPAZITIVER MIKROMECHANISCHER ULTRASCHALLWANDLER (CMUTS)
A Lohfink, P Eccardt · Ultraschall in der Medizin - European Journal of Ultrasound · 2005 · Heft 09
Bibliografische Angaben
Zusammenfassung
Problemstellung: Kapazitive Ultraschallwandler, deren Herstellung mithilfe mikromechanischer Prozesse erfolgt (Capacitive micromachined Ultrasound Transducer, CMUT), stellen einen neuen, viel versprechenden Ansatz in der medizinischen Ultraschalldiagnostik und für weitere Anwendungen dar. Zuverlässige Simulationen und Berechnungen wesentlicher Effekte sind von erheblicher Bedeutung, um die Wandler bereits vor der Herstellung entsprechend den Anforderungen optimieren zu können. Dies ist eine komplexe Aufgabe, da eine möglichst korrekte Modellierung des mechanischen Verhaltens der filigranen Membranen, der nichtli…